pre-aligner exchange

Die perfekte Lösung für Ihre Pre-Aligner-Fixierungen oder den Austausch von Alignern

ÜBERHOLUNG DER VORRICHTMASCHINE

Da sie ein kritischer Teil der Halbleiterproduktionsanlagen sind, könnte ein Problem mit Ihren Vorjustierern zu einem großen Produktionsproblem führen. Deshalb bieten wir eine vollständige Überholung der Vorjustierer in Rekordzeit an.

Pre-Aligner sind immer mit den Robotern in Ihren Produktionslinien verbunden. Zusammen bilden sie ein unverzichtbares Paar, um Wafer schnell und präzise in die Kammer der Produktionslinie zu befördern. Ein defekter Pre-Aligner kann jedoch Ihre Messungen verzögern und sich negativ auf Ihren gesamten Produktionsprozess auswirken. Unser Angebot zum Austausch von Pre-Alignern umfasst einen Standardaustausch Ihrer defekten Pre-Aligner gegen komplett überholte Pre-Aligner.

Wir garantieren Ihnen, dass im Falle des Austauschs Ihrer Voreinstellvorrichtung Ihre Baugruppe innerhalb von nur 7 Tagen geliefert wird. Das Bauteil ist die gleiche Marke und das gleiche Modell wie das vorherige und hat eine Reihe von Qualitätskontrollen durchlaufen, darunter einen 24-Stunden-Wiederholbarkeitstest. Eumetrys Robotics kann auch den Austausch der Steuerung Ihrer Vorrichtmaschine übernehmen.

Eumetrys robotics offer the overhaul exchange or repairs of your pre aligner
Picture of a PRI brand PRE-200 Aligner

AUSTAUSCH IHRES PRE-ALIGNERS

Falls erforderlich, können unsere Mitarbeiter also auch einen Ersatz für Ihren Pre-Aligner anfertigen.

Aber wie funktioniert ein Pre-Aligner? Die meisten 200- und 300-mm-Wafer haben eine „Kupplung“, die in Wirklichkeit eine winzige Kerbe am Rand des Wafers ist, der also keine perfekt runde Scheibe ist. Der Pre-Aligner muss diese Kerbe erkennen, damit der Roboter den Wafer korrekt auf der „Bühne“ positionieren kann. Bei Bedarf nimmt das Gerät eine Feinabstimmung der Ausrichtung anhand von mikroskopischen Referenzpunkten auf der Oberfläche der Siliziumscheibe vor. Ein Ausfall des Pre-Aligners ist ein echtes Problem für Ihre 200 mm und 300 mm Halbleiterproduktion. Eumetrys Robotics bietet die beste Lösung für dieses Problem: den Austausch des Pre-Aligners.

Wenn ein Pre-Aligner ausfällt, braucht die Maschine viel länger, um ihren Prozess durchzuführen. Diese Verzögerung kann sich auf die Ausbringungsrate Ihres gesamten Produktions- oder Steuerungssystems auswirken, wenn sie Teil einer „Engpass“-Maschine ist. Unser Service, der aus dem Austausch Ihrer Vorrichtmaschine besteht, soll daher dieses Problem lindern.

Der Betrieb einer Vorrichtmaschine hängt von der mit ihr verbundenen Steuerung ab. Manchmal ist die Steuerung das Problem. Eumetrys Robotics bietet eine Notreparatur des mit Ihrem Pre-Aligner verbundenen Controllers an und ersetzt ihn, falls erforderlich. Der Austausch des Pre-Aligners erfolgt unter den gleichen Bedingungen wie jede andere Art von Überholung, die je nach Ihren Bedürfnissen variieren kann, z. B. Fehlersuche und Demontage bei Ihnen vor Ort sowie Montage und Inbetriebnahme des Controllers auf der Anlage.

Eine Lösung für jedes Teil Ihres Werkzeugs

Robots

Austausch von Überholungen

Eumetrys robotics offer the overhaul exchange of your robots
  • Fehlersuche und -behebung
  • Reparaturen
  • Ersatz

Pre-aligners

Austausch von Überholungen

Eumetrys robotics offer the overhaul exchange of your aligner
  • Fehlersuche und -behebung
  • Reparaturen
  • Ersatz

Loadports

Austausch von Überholungen

Eumetrys robotics offer the overhaul exchange of your loadports
  • Fehlersuche und -behebung
  • Reparaturen
  • Ersatz