Brooks DBM RobotDBM-2407-V2

Remplacement de toutes les courroies, remplacement des roulements à billes, Remplacement des roulements à billes du bras supérieur, remplacement du système de poulie, remplacement de la ligne de scanner, remplacement du capteur de vide, remplacement de l’engrenage du bras.

Vérification de la bonne lubrification des éléments, contrôle de position des capteurs, Contrôle des éléments faisant le vide, contrôle du mouvement de chaque axes indépendamment, contrôle de tension des courroies, Cycle test pour les 3 axes, Cycle test avec wafer, Test répétabilité de 24h