Austausch und Reparatur von Pre-Alignern

Eumetrys Robotics ist Robotik-Experte und bietet Ihnen den Standard-Austausch bzw. die Reparatur Ihrer Pre-Aligner innerhalb von 7 Tagen

Wiederaufbereitung von Pre-Alignern

Pre-Aligner sind ein wesentlicher Bestandteil von Halbleiterfertigungsmaschinen. Eine Fehlfunktion der Pre-Aligner kann daher zu einem großen Produktionsproblem werden, und deshalb bieten wir Ihnen die Generalüberholung Ihrer Pre-Alignerin Rekordzeit an. Pre-Aligner gehören immer zu den Robotern Ihrer Fertigungsanlage. Beide Geräte zusammen bilden eine Einheit und befördern die Wafer-Platten schnell und genau in die Kammer der Fertigungsanlage. Eine Fehlfunktion des Pre-Aligners kann jedoch Ihre Messungen verzögern und die gesamte Prozesskette beeinträchtigen. Im Rahmen des Pre-Aligner-Austauschangebots bietet Eumetrys Robotics deshalb den Standard-Austausch Ihrer defekten Pre-Aligner gegen vollständig wiederaufbereitete Pre-Aligner.

Wir garantieren, dass im Falle eines Pre-Aligner-Austauschs Ihre Baugruppe innerhalb von nur 7 Tagen an Sie zurückgeliefert wird. Diese Baugruppe ist vom selben Typ und Hersteller wie die ursprüngliche. Außerdem wird die neue Baugruppe bei uns einer Reihe von Qualitätskontrollen einschließlich eines 24-Stunden-Wiederholbarkeitstests unterzogen. umetrys Robotics bietet daneben auch den Austausch Ihres Pre-Aligner-Steuergeräts.

Austausch Ihres Pre-Aligners

Falls erforderlich, sind unsere Teams auch in der Lage, Ihren Pre-Aligner komplett zu ersetzen.

Aber wie funktioniert eigentlich ein Pre-Aligner? Die meisten 200- und 300-mm-Wafer haben einen „Clutch“. Das ist eine kleine Kerbe am Rand des Wafers, der somit nicht perfekt rund ist. Der Pre-Aligner erkennt diese Kerbe, damit der Roboter den Wafer richtig auf dem „Stage“-Tisch positionieren kann. Bei Bedarf verfeinert das Gerät die Ausrichtung mit Hilfe mikroskopisch kleiner Referenzpunkte an der Oberfläche des Siliziumwafers.

Wenn es am Pre-Aligner eine Fehlfunktion gibt, dauert es viel länger, bis die Geräte ihre Arbeit abgeschlossen haben. iese Verzögerung kann den Durchsatz der Produktions- oder Prüfungslinien beeinträchtigen, sofern diese einen Engpass darstellen. Unsere Dienstleistung besteht darin, Ihren Pre-Aligner auszutauschen und das Problem damit zu beheben.

Der Pre-Aligner funktioniert aber nur mit dem zugehörigen Steuergerät, von dem manchmal auch die Fehlfunktion stammt. Eumetrys Robotics bietet daher auch eine Überprüfung des Steuergeräts zum Pre-Aligner und tauscht diesen ggf. aus. Dieser Austausch erfolgt unter den gleichen Bedingungen wie alle anderen Überholungsarbeiten, die je nach Anlagenzustand unterschiedlich sein können – also Fehlersuche, Demontage bei Ihnen vor Ort, sowie Einbau des Steuergeräts und Wiederinbetriebnahme der Anlage. Unser Bestreben ist es, Ihre Bedürfnisse auf individuelle Art und Weise zu erfüllen. Rufen Sie deshalb bei Problemen mit einem Pre-Aligner gleich bei uns an.<s/trong>