Pre-Aligner Wartung und Reparatur

Eumetrys Robotics bietet Wartung und Reparatur Ihrer Pre-Aligner durch eine vollständige Wiederaufbereitung an.

Elektronik-Wartung für Pre-Aligner-Steuergeräte

Eumetrys Robotics bietet die industrielle Wartung der Steuerelektronik von Pre-Alignern und Halbleiter-Baugruppen an. Dieses Angebot umfasst den Austausch aller Verschleißteile an Pre-Alignern, wie Riemen und Achsen. Da unsere Teams im Laufe der Jahre hervorragendes Fachwissen erworben haben, können sie Pre-Aligner sowohl reparieren als auch ordnungsgemäß warten. Wir garantieren, dass Ihr Pre-Aligner nach Komplettüberholung durch uns wieder voll funktionsfähig ist. Während der Wartungsarbeiten an den Pre-Alignern führen wir zahlreiche Qualitätskontrollen durch, um den ordnungsgemäßen Betrieb zu gewährleisten, ebenso wie bei den Steuerungs- und Prüfprogrammen der Pre-Aligner. Wir warten also auch Pre-Aligner-Steuergeräte, die manchmal ebenfalls Fehlfunktionen aufweisen.

Überholung der Pre-Aligner

Da Pre-Aligner eine Schlüsselrolle bei der Halbleiter Wafer-Verarbeitung spielen, führen wir auch Komplettüberholungen an Pre-Alignern durch. Der Wafer-Pre-Aligner spielt eine wichtige Rolle bei der Halbleiterchip-Herstellung und ermöglicht die genaue Positionierung der Wafer mit einem optischen Fühler und einem Algorithmus zur Wafer-Kantenerkennung. Darauf konzentrieren wir uns bei der Überholung der Pre-Aligner und bei der Überholung der Pre-Aligner-Steuergeräte. Der Wafer kann dann auf die Mess- oder Belichtungsplattform transportiert werden. Es können verschiedene Zoll-Wafergrößen (3″, 4″, 5″, 6,8″, 1″ oder 3″ bis 12″) bearbeitet werden. Der Pre-Aligner kann sowohl undurchsichtige als auch transparente Wafer-Substrate ausrichten. Pre-Aligner werden in allen Halbleiter-Fertigungsmaschinen eingesetzt, also in Messeinrichtungen, Beschichtungs- und Ätzmaschinen, in Vernetzungs- und Wärmebehandlungssystemen, usw. Die Überholung der Pre-Aligner-Steuergeräte muss daher schnell vorgenommen werden können, um die Produktivität Ihrer Maschinen nicht zu verlangsamen. Bei Eumetrys Robotics wissen wir dies und stellen immer sicher, dass die Pre-Aligner- Steuergeräte ordnungsgemäß repariert werden.

Wartung der Pre-Aligner

Die Wartung des Pre-Aligners muss regelmäßig und genau sein, da er ein wichtiges Element der Produktions- und Prüfgeräte bei der Halbleiterfertigung ist. Die Wartung stellt sicher, dass sich der Wafer in der richtigen Stellung befindet, bevor er in die Prozesskammer gelangt. Der Pre-Aligner muss sich daher im optimalen Zustand befinden, um den weiteren Prozess nicht zu verzögern. Dies gilt sowohl für die mechanischen Eigenschaften als auch für die elektronischen Programme. Wir übernehmen daher auch die Wartung der Pre-Aligner Steuergeräte. Die Ausrichtung muss mit größter Genauigkeit erfolgen, was bedeutet, dass Probleme am Pre-Aligner sich sofort ungünstige auf die Qualität des Herstellvorgangs auswirken. Der Pre-Aligner positioniert die Wafer präzise, bevor sie auf die Belichtungs- und Messplattform übertragen werden und vermeidet so das Zerbrechen der Waferplatten. Deshalb übernehmen wir gerne Ihren kompletten Wartungsservice von der Reparatur der Pre-Aligner bis zur Reparatur der Pre-Aligner-Steuergeräte.